Ўзбекистон Фанлар академияси С.А. Азимов номидаги "Физика-Қуёш" илмий ишлаб-чиқариш бирлашмасининг Физика-техника институти олимлари кремний карбидига ишлов бериш усулини ихтиро қилишди.

Ушбу усул яримўтказгичли материалларга кимёвий ишлов бериш, кремний карбиди монокристаллари асосидаги прибор структураларини ва унинг турли тагликлардаги монокристалл плёнкаларини тайёрлашда фойдаланиш учун мўлжалланган.

Унинг вазифаси кремний карбидининг юзасига селектив ишлов бериш имконияти яратилган ҳолда нуқсонлари кам тўпланган ойнадек силлиқ юзага эга бўлиш имконини берадиган юзага ишлов беришнинг паст температурали кимёвий усулини яратишдан иборат.

Муаллифлар жамоаси - И.Г.Атабауев, Чин-Че Тин, Б.Г.Атабауев, С.Л.Лутпуллауев ва Х.Н.Журауевга мазкур усул учун № ИАП 05087 рақамли патент берилди.