Özbekiston Fanlar akademiyasi S.A. Azimov nomidagi "Fizika-Quyoş" ilmiy işlab-çiqariş birlaşmasining Fizika-texnika instituti olimlari kremniy karbidiga işlov beriş usulini ixtiro qilişdi.
Uşbu usul yarimötkazgiçli materiallarga kimyoviy işlov beriş, kremniy karbidi monokristallari asosidagi pribor strukturalarini va uning turli tagliklardagi monokristall plyonkalarini tayyorlaşda foydalaniş uçun möljallangan.
Uning vazifasi kremniy karbidining yuzasiga selektiv işlov beriş imkoniyati yaratilgan holda nuqsonlari kam töplangan oynadek silliq yuzaga ega böliş imkonini beradigan yuzaga işlov berişning past temperaturali kimyoviy usulini yaratişdan iborat.
Mualliflar jamoasi - I.G.Atabauyev, Çin-Çe Tin, B.G.Atabauyev, S.L.Lutpullauyev va X.N.Jurauyevga mazkur usul uçun № IAP 05087 raqamli patent berildi.
